真空区域划分

为实用上便利起见，人们常把真空度粗划为几个区段，根据GB/T3163—93，真空区域大致划分如下

低真空    105Pa～102Pa                          中真空    102Pa～10-1Pa

高真空   10-1Pa～10-5Pa                         超高真空  ＜10-5Pa

随着真空技术的发展，在更低压力下，气体空间的物理特性有了新的特点，真空获得和真空测量有了新的手段，区域划方法如下

低真空    105Pa～102Pa                           中真空    102Pa～10-1Pa

高真空    10-1Pa～10-5Pa                        超高真空 10-5Pa～10-9Pa

极高真空  ＜10-9Pa