主要特点：

 

(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速； 

(2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速； 

(3)泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染； 

(4)泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感； 

(5)压缩比较低，对氢气抽气效果差； 

(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。

 

应用范围:  

 

电子、半导体、木工、制药、吸盘、搬运、包装、印刷、环保、医院等。