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真空区域划分

来源:未知   发布时间:2020-11-03 11:26nbsp;  点击量:

为实用上便利起见,人们常把真空度粗划为几个区段,根据GB/T3163—93,真空区域大致划分如下
低真空    105Pa~102Pa                          中真空    102Pa~10-1Pa
高真空   10-1Pa~10-5Pa                         超高真空  <10-5Pa
随着真空技术的发展,在更低压力下,气体空间的物理特性有了新的特点,真空获得和真空测量有了新的手段,区域划方法如下
低真空    105Pa~102Pa                           中真空    102Pa~10-1Pa
高真空    10-1Pa~10-5Pa                        超高真空 10-5Pa~10-9Pa
极高真空  <10-9Pa
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